| 유신재 교수, Best-cited paper Award 수상 | |||||
| 작성자 | 물리학과 | ||||
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| 조회수 | 319 | 등록일 | 2024.09.03 | ||
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한국진공학회 학술대회에서 우수 연구력 입증
자연과학대학 물리학과 유신재 교수가 한국진공학회 학술대회에서 Best-cited paper Award를 받았다. 한국진공학회는 8월 20일 ‘제 67회 하계정기학술대회 & IFFM 2024’를 개최한 가운데 유신재 교수가 Best-cited paper Award을 수상했다. 유신재 교수는 이번 학술대회에서 물리학과 성인호 박사과정생과 함께 투고한 논문(Characterization of SiO2 Over Poly-Si Mask Etching in Ar/C4 F8 Capacitively Coupled Plasma)의 우수성을 인정받았다. 유신재 교수의 플라즈마 실험실은 플라즈마 관련 반도체 공정과 장비를 갖추고 실험, 시물레이션, 해석까지 하는 연구그룹으로 플라즈마 기반의 다양한 창의 연구를 진행하고 있으며 반도체 공정 연구가 가장 큰 연구 영역이고, 그밖에는 플라즈마 스텔스 기술, 대기압 초절전, 초소형 플라즈마 기술 등 국방 관련 연구도 수행하고 있다. |
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충남대학교 자연과학대학 물리학과
DEPARTMENT OF PHYSICS
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